B81C 特别适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；制造和处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件所特有的方法和设备入H01L41/22）〔7〕

附注
本小类不包括：
--制造或处理单纯电或电子装置的方法或设备，这些方法和设备包括在H部中，例如H01L21/00组中；
--涉及操纵单个原子或分子的方法或设备，这些方法和设备包括在B82B3/00组中。〔7〕
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 1/00 在基片内或其上制造或处理的装置或系统（3/00优先）〔7〕
 3/00 从单独处理过的部件组装装置或系统〔7〕
 5/00 不包括在1/00或3/00组中的方法或设备〔7〕